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化學(xué)放大負(fù)性光刻膠去膠難 已有3人參與
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最近嘗試做一款化學(xué)放大負(fù)性光刻膠，形貌做的很好，但是發(fā)現(xiàn)很難去膠，去膠液是市面上通用的prs3000,總是留下膠絲不溶解，酚醛樹脂體系交聯(lián)劑用的是HMMM，降低交聯(lián)劑的含量到很低還是溶解不掉，有沒有大神能指點(diǎn)一下，在線等 |
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2樓2015-01-07 18:47:49
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3樓2016-09-10 16:01:35
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4樓2016-10-27 00:28:06
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