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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 200nm厚度薄膜的深度剖析
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kevin123581金蟲 (正式寫手)
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[交流]
200nm厚度薄膜的深度剖析
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對于200nm （400nm/ 800nm）左右的薄膜做深度剖析什么設備比較合適呢？ 我想要測量的其實主要是物質在深度方向的含量比。 比如C和Si. 我用過cold SEM+EDS，但是對于200nm的薄膜，圖像移動比較厲害，測量完全不準確； tof-sims可做深度分析，但是貌似含量比也不好弄。 更復雜一點的是，我薄膜由Si單質和SiO2組成，外加其他一些雜質，可有有辦法區(qū)分Si和SiO2的含量比呢？ 謝謝大家 |
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