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vincentwz鐵桿木蟲 (著名寫手)
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[交流]
求推薦 磁控濺射 和 離子刻蝕 設備廠商....。。。。。
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目前計劃采購一臺兩靶位的磁控濺射，用于2-3inch wafer 的 Ti，Nb薄膜的濺鍍，要求超高真空，要到10^-9Torr 還需要一臺常規(guī)的氬離子刻蝕機（ion milling） 請問大家有什么推薦的廠商嗎？主要考慮國外的吧，最好能提供一個大概的價格，謝謝啦。 |
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