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yc8662新蟲 (小有名氣)
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[交流]
四點(diǎn)法測(cè)出來的薄膜電阻包含襯底的信息嗎？ 已有3人參與
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一直以來有一個(gè)問題，同樣成分的薄膜，長(zhǎng)在導(dǎo)電襯底上和絕緣沉底上用四點(diǎn)法測(cè)出來的體電阻值為何不一樣？ 四點(diǎn)法測(cè)薄膜體電阻，電流走向是什么樣的？ 是僅僅會(huì)流過薄膜表層的一部分，還是整個(gè)樣品都會(huì)流過？ 如果襯底導(dǎo)電比較好的話，電流會(huì)不會(huì)通過襯底？ 如果會(huì)流過襯底的話，那用測(cè)出來的電阻值去計(jì)算電阻率的話，薄膜的厚度是不是應(yīng)該加上襯底的厚度？ 比如說生長(zhǎng)在SrRuO3上的CoFe2O4， 薄膜厚度100nm，襯底厚度0.5mm, 測(cè)出來四點(diǎn)法電阻值為300Ohm，計(jì)算電阻率時(shí)用公式R=ρ*L/S，此時(shí)的L是不是應(yīng)該為0.5mm而不是100nm? 或者說我需要考慮兩部分電阻，R=ρ1*L1/S1+ρ2*L2/S2。1和2分別代表薄膜和襯底，根據(jù)襯底的電阻率，計(jì)算出襯底電阻，從R中扣除掉，再得到薄膜的電阻率ρ1. 謝謝指教！ |
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8樓2015-08-28 21:07:38
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