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yc8662新蟲(chóng) (小有名氣)
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四點(diǎn)法測(cè)出來(lái)的薄膜電阻包含襯底的信息嗎? 已有3人參與
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一直以來(lái)有一個(gè)問(wèn)題,同樣成分的薄膜,長(zhǎng)在導(dǎo)電襯底上和絕緣沉底上用四點(diǎn)法測(cè)出來(lái)的體電阻值為何不一樣? 四點(diǎn)法測(cè)薄膜體電阻,電流走向是什么樣的? 是僅僅會(huì)流過(guò)薄膜表層的一部分,還是整個(gè)樣品都會(huì)流過(guò)? 如果襯底導(dǎo)電比較好的話,電流會(huì)不會(huì)通過(guò)襯底? 如果會(huì)流過(guò)襯底的話,那用測(cè)出來(lái)的電阻值去計(jì)算電阻率的話,薄膜的厚度是不是應(yīng)該加上襯底的厚度? 比如說(shuō)生長(zhǎng)在SrRuO3上的CoFe2O4, 薄膜厚度100nm,襯底厚度0.5mm, 測(cè)出來(lái)四點(diǎn)法電阻值為300Ohm,計(jì)算電阻率時(shí)用公式R=ρ*L/S,此時(shí)的L是不是應(yīng)該為0.5mm而不是100nm? 或者說(shuō)我需要考慮兩部分電阻,R=ρ1*L1/S1+ρ2*L2/S2。1和2分別代表薄膜和襯底,根據(jù)襯底的電阻率,計(jì)算出襯底電阻,從R中扣除掉,再得到薄膜的電阻率ρ1. 謝謝指教! |
銅蟲(chóng) (小有名氣)
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