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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 合成表征 » 臺階儀測膜厚度，這樣的曲線正常嗎？
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臺階儀測膜厚度，這樣的曲線正常嗎？ 已有4人參與
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用硅片做了一個臺階，然后經(jīng)臺階儀測試厚度。（曲線左側(cè)為膜，右側(cè)為基底） 但是經(jīng)常發(fā)現(xiàn)探針在經(jīng)過臺階處曲線變化并不明顯（見截圖1），而且取平后為什么左側(cè)低于右側(cè)呢（見截圖2），不是應該有膜的地方厚度顯然大于沒有膜的地方嗎？（這樣的認識是我基于曲線越高對應的地方越厚，這樣的認識對嗎？） 還請各位指教,萬分感謝！ 1.jpg 2.jpg |
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石銀東
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