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臺(tái)階儀測(cè)膜厚度，這樣的曲線正常嗎？ 已有4人參與
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用硅片做了一個(gè)臺(tái)階，然后經(jīng)臺(tái)階儀測(cè)試厚度。（曲線左側(cè)為膜，右側(cè)為基底） 但是經(jīng)常發(fā)現(xiàn)探針在經(jīng)過(guò)臺(tái)階處曲線變化并不明顯（見(jiàn)截圖1），而且取平后為什么左側(cè)低于右側(cè)呢（見(jiàn)截圖2），不是應(yīng)該有膜的地方厚度顯然大于沒(méi)有膜的地方嗎？（這樣的認(rèn)識(shí)是我基于曲線越高對(duì)應(yīng)的地方越厚，這樣的認(rèn)識(shí)對(duì)嗎？） 還請(qǐng)各位指教,萬(wàn)分感謝！ 1.jpg 2.jpg |
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6樓2015-03-11 20:19:31
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