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gao198907銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
電子束蒸發(fā)鍍Y3Fe5O12 已有2人參與
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| 用高真空電子束鍍膜機(jī)鍍Y3Fe5O12薄膜，用的是塊狀的Y3Fe5O12靶材，但是做出來的薄膜退火完，去測XRD發(fā)現(xiàn)全是Fe2O3，沒有測到Y(jié)3Fe5O12和Y2O3。這是什么原因，難道是Y太重了嗎，蒸發(fā)不上去嗎 |
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小山田心子
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 15 (小學(xué)生)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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首先呢我建議你去測試一下你靶材的XRD，國內(nèi)有些靶材做的不是太好。 其次，你用電子束蒸鍍的過程中可能由于釔氧化物的升華溫度很高，而你的電子束電流不夠所導(dǎo)致的。所以適當(dāng)?shù)恼{(diào)整蒸鍍電流，同時(shí)，查找相關(guān)的升華溫度。 最后，建議查找Y3Fe5O12XRD的標(biāo)準(zhǔn)譜，然后和你目前測試的結(jié)果進(jìn)行比對(duì)。 我以前沒做過這種物質(zhì)，但是我接觸過電子束，所以可能說的也不是太對(duì)，希望對(duì)你有幫助，我以前做過稀土氧化物，的確是不太好蒸鍍，電子束電流達(dá)不到的話是一點(diǎn)都沒有的，但是達(dá)到一定的電流后蒸鍍速率會(huì)很大，不太好控制，以前我用儀器也是國產(chǎn)的，控制精度也不高。 |
2樓2015-01-28 12:19:50
3樓2015-06-04 15:58:38
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