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mwjsx新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
SU 8 光刻 問(wèn)題，希望各位大神指點(diǎn)一下 已有4人參與
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先介紹一下基本情況 本人用的SU-8 2100, 旋涂80 微米，前烘: 65度 5分鐘，95度15分鐘; 后烘: 65度1分鐘，95度7分鐘; 顯影: PGMEA中超聲顯影40分鐘。想做的結(jié)構(gòu)是一個(gè)三維的鋸齒狀的結(jié)構(gòu)，處理后得到的橫截面圖，可以 看到圖中的結(jié)構(gòu)有些彎曲，查了一些文獻(xiàn)，原因可能是su-8 吸收了一部分顯影液變軟了，請(qǐng)問(wèn)各位大神還有什么其他的原因呢? 我的流程中有什么可以改進(jìn)的? 謝謝�。。�！ 鋸齒狀橫截面 |
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nancy10214
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exciting73 
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3樓2015-02-05 13:11:00
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4樓2015-02-05 18:58:58
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