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[求助] SU 8 光刻問題，希望各位大神指點(diǎn)一下已有4人參與

先介紹一下基本情況本人用的SU-8 2100, 旋涂80 微米，前烘: 65度 5分鐘，95度15分鐘; 后烘: 65度1分鐘，95度7分鐘; 顯影: PGMEA中超聲顯影40分鐘。想做的結(jié)構(gòu)是一個(gè)三維的鋸齒狀的結(jié)構(gòu)，處理后得到的橫截面圖，可以看到圖中的結(jié)構(gòu)有些彎曲，查了一些文獻(xiàn)，原因可能是su-8 吸收了一部分顯影液變軟了，請問各位大神還有什么其他的原因呢? 我的流程中有什么可以改進(jìn)的? 謝謝�。。�！

鋸齒狀橫截面

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1樓 2015-02-04 19:00:30

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exciting73

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鋸齒是對稱的嗎？這個(gè)深寬比還挺大。

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2樓2015-02-05 07:49:20

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yswyx

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3樓2015-02-05 13:11:00

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2樓: Originally posted by exciting73 at 2015-02-05 07:49:20
鋸齒是對稱的嗎？這個(gè)深寬比還挺大。

不是對稱的，一邊是垂直的一邊是斜坡。深寬比是4:1左右吧。

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4樓2015-02-05 18:58:58

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3樓: Originally posted by yswyx at 2015-02-05 13:11:00
不一定是泡顯影液的問題。
也有很大可能是應(yīng)力問題。你在各個(gè)工藝步驟之間沒有靜置足夠的時(shí)間保證應(yīng)力的充分釋放。具體的建議咨詢蘇州銳材半導(dǎo)體，不過他們賣的是另一家的SU8，你咨詢的話試試吧。

哦，謝謝，我也想到這個(gè)問題，但是我已經(jīng)嘗試較長時(shí)間的靜置了，涂膠，前烘，曝光分別間隔了2小時(shí)和一個(gè)晚上，不知道是否夠呢?

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5樓2015-02-05 19:03:29

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yuanxin5254

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你涂的膠厚85um?這么厚做什么啊，我們一般就1um

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我們堅(jiān)持做一件事情，并不是這樣做了有效果，而是堅(jiān)信，這樣做了是對的。

6樓2015-02-05 23:47:33

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nancy10214

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交聯(lián)的SU-8膠結(jié)構(gòu)內(nèi)應(yīng)力很大,可以導(dǎo)致基底彎曲變形和膠的開裂. 所以加熱必須緩慢,冷卻應(yīng)在熱板上隨熱板冷卻到室溫。另外你的結(jié)構(gòu)不對稱應(yīng)力體現(xiàn)更明顯。yswyx是高手，他們做的很多，問問試試。

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7樓2015-02-06 09:01:02

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4樓: Originally posted by mwjsx at 2015-02-05 18:58:58
不是對稱的，一邊是垂直的一邊是斜坡。深寬比是4:1左右吧。...

哦，這種用灰度曝光膠更好一些吧。
前后烘時(shí)不要先把熱板加熱到預(yù)設(shè)溫度，可以把基片放到熱板上之后從較低的溫度開始加熱，要緩慢升溫。

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8樓2015-02-10 10:46:18

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7樓: Originally posted by nancy10214 at 2015-02-06 09:01:02
交聯(lián)的SU-8膠結(jié)構(gòu)內(nèi)應(yīng)力很大,可以導(dǎo)致基底彎曲變形和膠的開裂. 所以加熱必須緩慢,冷卻應(yīng)在熱板上隨熱板冷卻到室溫。另外你的結(jié)構(gòu)不對稱應(yīng)力體現(xiàn)更明顯。yswyx是高手，他們做的很多，問問試試。

我的樣品都是緩慢加熱和冷卻的，謝謝你的意見�。。�

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9樓2015-02-16 17:16:34

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8樓: Originally posted by exciting73 at 2015-02-10 10:46:18
哦，這種用灰度曝光膠更好一些吧。
前后烘時(shí)不要先把熱板加熱到預(yù)設(shè)溫度，可以把基片放到熱板上之后從較低的溫度開始加熱，要緩慢升溫。...

謝謝，我都是緩慢升溫和冷卻的

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10樓2015-02-16 17:18:01

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