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[求助]
SU 8 光刻 問題，希望各位大神指點一下 已有4人參與
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先介紹一下基本情況 本人用的SU-8 2100, 旋涂80 微米，前烘: 65度 5分鐘，95度15分鐘; 后烘: 65度1分鐘，95度7分鐘; 顯影: PGMEA中超聲顯影40分鐘。想做的結(jié)構(gòu)是一個三維的鋸齒狀的結(jié)構(gòu)，處理后得到的橫截面圖，可以 看到圖中的結(jié)構(gòu)有些彎曲，查了一些文獻，原因可能是su-8 吸收了一部分顯影液變軟了，請問各位大神還有什么其他的原因呢? 我的流程中有什么可以改進的? 謝謝�。。�！ 鋸齒狀橫截面 |
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9樓2015-02-16 17:16:34
exciting73 
金蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 110 (高中生)
- 金幣: 579.9
- 紅花: 20
- 帖子: 1785
- 在線: 272.7小時
- 蟲號: 1946276
- 注冊: 2012-08-19
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
2樓2015-02-05 07:49:20
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
dgf2008: 屏蔽內(nèi)容, 過期內(nèi)容！ 2017-07-25 23:33:05
dgf2008: 屏蔽內(nèi)容, 過期內(nèi)容！ 2017-07-25 23:33:05
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
3樓2015-02-05 13:11:00
4樓2015-02-05 18:58:58
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