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丿Shine_可樂(lè)至尊木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[求助]
求助做光刻的大神 已有1人參與
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| 本人光刻菜鳥(niǎo)，剛?cè)腴T(mén)。最近我用光刻做一個(gè)直徑為2μm的圓形圖案，但是顯影出來(lái)要么就是光刻膠被顯掉了，要么就是顯不出圖案來(lái)，比較好的結(jié)果就是顯出了圖案，可是用SEM拍出來(lái)的直徑是大于2微米的。工藝參數(shù)如顯影時(shí)間，曝光時(shí)間，顯影液濃度這些能改變的都改變了，還是做不出來(lái)。。。求大神幫忙 |
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looor
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3樓2015-03-05 17:02:31
looor
木蟲(chóng) (小有名氣)
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2樓2015-03-05 16:59:19
丿Shine_可樂(lè)
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4樓2015-03-05 17:20:22
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