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磁控濺射哪些原因會導致實驗中途無規(guī)律滅�。�
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| 本人采用中頻磁控濺射平面靶（加偏壓）鍍TiN薄膜，實驗中途滅弧現(xiàn)象，說通俗點就是實驗過程中突然輝光熄滅了。這種滅弧并無規(guī)律，一天5-6小時實驗會出現(xiàn)一次滅弧。另外實驗發(fā)現(xiàn)點靶時不容易起輝，需加大Ar氣流量才能起輝。實驗做出的膜層偶爾會出現(xiàn)掉膜現(xiàn)象。求大俠幫忙，急�。。� |
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perry_ping 
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2樓2015-03-12 13:22:02
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