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Sputter磁控濺射的設(shè)置單位問題
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| 文獻中說“The sputtering was carried out in a partially oxygen (30%)-mixed argon atmosphere of 5Pa”，想請問下這個5Pa就是換算成mTorr后設(shè)置的腔內(nèi)總壓強么？磁控濺射O2和Ar設(shè)置時單位都是sccm，如何和Pa之間換算呢？謝謝 |
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