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[求助]
Sputter磁控濺射的設(shè)置單位問題
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| 文獻(xiàn)中說“The sputtering was carried out in a partially oxygen (30%)-mixed argon atmosphere of 5Pa”，想請問下這個(gè)5Pa就是換算成mTorr后設(shè)置的腔內(nèi)總壓強(qiáng)么？磁控濺射O2和Ar設(shè)置時(shí)單位都是sccm，如何和Pa之間換算呢？謝謝 |
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2樓2013-01-21 15:34:51
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| 兩者單位的意義不同的，換算不來的。不同的設(shè)備在相同的壓強(qiáng)下，需要的流量不同。你可以在腔室里面通過流量計(jì)調(diào)節(jié)壓強(qiáng)，記住5Pa時(shí)的流量。然后要比例通入流量就可以了 |
3樓2013-01-21 16:29:29
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4樓2013-01-22 21:43:59
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