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tonggege銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
國內(nèi)用CVD做TiN薄膜最好的單位是哪里啊 已有2人參與
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| 如題,需要通過CVD的方法在在金屬鉭片上制備一層大概1um的TiN薄膜,用于電化學氫滲透的測試,與PVD制備的TiN薄膜進行對比,請問哪里有專門用CVD制備TiN薄膜的設(shè)備 |

木蟲 (正式寫手)
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