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tonggege銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
國內(nèi)用CVD做TiN薄膜最好的單位是哪里啊 已有2人參與
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| 如題，需要通過CVD的方法在在金屬鉭片上制備一層大概1um的TiN薄膜，用于電化學(xué)氫滲透的測試，與PVD制備的TiN薄膜進(jìn)行對比，請問哪里有專門用CVD制備TiN薄膜的設(shè)備 |
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yzh137575013
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2樓2020-09-29 14:30:07
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3樓2020-09-29 14:31:24
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4樓2022-01-20 10:51:29
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