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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 關于原子層沉積基板上羥基的問題
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a359429802新蟲 (小有名氣)
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關于原子層沉積基板上羥基的問題 已有1人參與
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我看文獻里進行ALD時，在前驅體進入反應室之前，基板上有一層羥基（如圖）與之發(fā)生反應，請問基板上的羥基是怎么得到的，如果要沉積的粉末上面不存在羥基該如何處理呢，比如說一些金屬氧化物材料錳酸鋰鈷酸鋰之類的基板？ Al2O3薄膜的原子層沉積過程.png |
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2樓2015-03-27 16:10:01
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3樓2015-04-16 15:47:13
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4樓2019-05-08 00:47:58
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