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關(guān)于CVD在藍(lán)寶石上生長石墨烯的工藝 已有1人參與
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各位蟲友，第一次發(fā)帖，請教大家問題： 最近在用CVD在藍(lán)寶石上生長石墨烯，參考了一些文獻(xiàn)，自己是在1040℃，H2流量50sccm，CH4流量25sccm，生長2h，結(jié)果啥都沒有。有以下幾個問題： 1.很少有文章研究氣壓與生長的關(guān)系，據(jù)我了解不同的管式爐、不同的真空泵會導(dǎo)致流量相同而氣壓不同，不知道氣壓是對生長關(guān)系不大呢還是研究它沒有意義？ 2.有沒有做過類似工作的蟲友提提建議里面有哪些要注意的工藝？ 3.自己做出的試樣不太方便直接拿去測拉曼或者掃描或者原子力，有沒有簡單易行的方法可以判斷到底有沒有獲得石墨烯？ |
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3樓2015-03-31 10:41:55
spiderman504
金蟲 (小有名氣)
- MN-EPI: 1
- 應(yīng)助: 30 (小學(xué)生)
- 金幣: 1213
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
4樓2015-03-31 10:55:44
5樓2015-03-31 14:47:21
6樓2015-04-01 09:47:11
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