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luing993鐵蟲 (初入文壇)
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[交流]
【求助】如何去除拋光液殘留
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小弟是做電子元件的可靠性分析，進行樣品打磨已經(jīng)4個月了，但是一直有一個問題存在。 我打磨樣品先是180目，接著600目---2400目---4000目。最后用0.3μ的氧化鋁拋光液拋光。經(jīng)常會出現(xiàn)拋光液殘留在銅線上，很難去除。因為要做SEM,通常要放大到5000X，所以拋光液殘留是不太允許的。不知道哪位有經(jīng)驗的能夠給點建議。先謝了 [ Last edited by SHY31 on 2008-7-11 at 22:18 ] |
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luing993
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非常感謝樓上的各位朋友。我用過牙膏拋，但是牙膏里的鈣不規(guī)整，會破壞樣品表面。我現(xiàn)在的方法是盡量少用拋光液，減少拋光時間（這就要求在4000目的時候打磨的要好些，細致些。）拋完了用水沖，最后用鏡頭紙擦拭。效果好些，但是還是有一定的拋光液殘留。超聲波清洗的辦法估計是不行，會破壞里面的結(jié)構(gòu)。試過降低強度，但是還是會出現(xiàn)孔洞，這些都是超過的結(jié)構(gòu)，并不是真實的結(jié)構(gòu)。用稀鹽酸或堿溶液將殘余的氧化鋁融解掉是可以，但是與此同時，也會溶解掉鋁層，這不是希望得到的結(jié)果。我還在想辦法，如果有好的方法，我也會和大家分享的 此外，用清水拋確實能有一定的改善，但是帶來的問題是會產(chǎn)生劃痕，這是客戶不允許的。因此，如果有朋友也從事這方面工作，我倒是建議用清水拋的同時加如一下潤滑劑。 再次感謝大家的幫助。 |
10樓2008-07-14 09:53:14
tjumark
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2樓2008-06-30 23:07:00
3樓2008-07-02 12:56:51
luing993
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4樓2008-07-07 21:33:59
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