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金屬鈦靶通氮氣鍍膜和氮化鈦靶直接鍍膜，這兩者差異在哪兒？ 已有3人參與
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| 看到的文獻鍍TiN膜基本上都是用鈦靶，通氮氣來鍍膜，為什么不直接用氮化鈦靶材來鍍膜呢？是因為通過控制氮氣流量更好的來控制膜的性能？我目前就是用后者進行鍍膜，這兩者方式的差異意味著什么，請教下蟲友們 |
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 薄膜制備與特性 |
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