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strandtju銀蟲 (正式寫手)
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[交流]
交換偏置怎么也做不出來，請各位大神指教！ 已有1人參與
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小弟近來在做Ni81Fe19/Fe50Mn50雙層膜的交換偏置，但試了一個多月，怎么也做不出來，老板逼的又緊，請各位大神指教！ 具體參數(shù)：Si（100）襯底（有300nm的氧化層），磁控濺射，base pressure 小于5×10^-7 Torr，先生長了15 nm 的Cu作緩沖層，然后在 180 Oe 磁場下生長 NiFe（5 nm），F(xiàn)eMn（ 6 nm），濺射功率15W，生長速率~0.7nm/min，最后生長2 nm Cu作保護(hù)層，每層長完后等待20min繼續(xù)生長下一層。生長完成后等真空度恢復(fù)到5×10^-7 Torr時進(jìn)行原位退火，升降溫速率2K/min，保持在160 ℃ 10min。 我實在不知道哪一步出了問題，特請教于各位方家！ |
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 薄膜制備與特性 |
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2樓2015-06-09 22:23:00
strandtju
銀蟲 (正式寫手)
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- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
3樓2015-06-09 22:46:45
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