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strandtju銀蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[交流]
交換偏置怎么也做不出來(lái)，請(qǐng)各位大神指教！ 已有1人參與
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小弟近來(lái)在做Ni81Fe19/Fe50Mn50雙層膜的交換偏置，但試了一個(gè)多月，怎么也做不出來(lái)，老板逼的又緊，請(qǐng)各位大神指教！ 具體參數(shù)：Si（100）襯底（有300nm的氧化層），磁控濺射，base pressure 小于5×10^-7 Torr，先生長(zhǎng)了15 nm 的Cu作緩沖層，然后在 180 Oe 磁場(chǎng)下生長(zhǎng) NiFe（5 nm），F(xiàn)eMn（ 6 nm），濺射功率15W，生長(zhǎng)速率~0.7nm/min，最后生長(zhǎng)2 nm Cu作保護(hù)層，每層長(zhǎng)完后等待20min繼續(xù)生長(zhǎng)下一層。生長(zhǎng)完成后等真空度恢復(fù)到5×10^-7 Torr時(shí)進(jìn)行原位退火，升降溫速率2K/min，保持在160 ℃ 10min。 我實(shí)在不知道哪一步出了問(wèn)題，特請(qǐng)教于各位方家！ |
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 薄膜制備與特性 |
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2樓2015-06-09 22:23:00
strandtju
銀蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1394.1
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3樓2015-06-09 22:46:45
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