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小海孩銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
射頻濺射薄膜參數(shù)對于薄膜的影響 已有3人參與
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| 請問下有沒有系統(tǒng)的關(guān)于射頻濺射參數(shù)對于薄膜結(jié)構(gòu)及性能的影響，比如射頻濺射功率影響薄膜的濺射速率、表面形貌，濺射氣壓影響薄膜的。。。。靶材基底距離影響薄膜的。。。。等等，急求，非常感謝！��！ |
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小海孩
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8樓2015-05-11 09:03:23
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9樓2015-05-11 09:03:48
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