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茉莉花開(kāi)1新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射鍍碳膜沒(méi)有鍍上去 已有2人參與
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| 請(qǐng)教高手一個(gè)問(wèn)題，在用磁控濺射射頻鍍碳膜的時(shí)候，發(fā)現(xiàn)起輝等射頻工作都正常，鍍了兩個(gè)小時(shí)后取出來(lái)樣品表面沒(méi)有變化，碳膜沒(méi)有鍍上去。有沒(méi)有哪位同學(xué)知道是怎么一回事呀。謝謝。 |
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2樓2013-12-30 21:29:34
茉莉花開(kāi)1
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3樓2013-12-30 21:43:22
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沒(méi)有真正濺射，所以托盤(pán)是冷的。你換成濺射別的非金屬材料采用同樣濺射條件嘗試一下結(jié)果是不是一樣情況，以判斷機(jī)臺(tái)是否出現(xiàn)問(wèn)題了。 [ 發(fā)自小木蟲(chóng)客戶(hù)端 ] |
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茉莉花開(kāi)14樓2013-12-30 21:56:18
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【答案】應(yīng)助回帖
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| 據(jù)我的經(jīng)驗(yàn)，可能你這濺射儀以前的靶材不是鍍碳的，現(xiàn)在你用來(lái)鍍碳，用的工藝參數(shù)還沒(méi)有改過(guò)來(lái)，導(dǎo)致你的膜沒(méi)有鍍上，也有可能你這工藝參數(shù)沒(méi)問(wèn)題，但是操作過(guò)程中某一部分出現(xiàn)了偏差，例如，保護(hù)氣通入的時(shí)候進(jìn)入了一部分空氣，導(dǎo)致濺射的時(shí)候產(chǎn)生輝光，但是靶材上出來(lái)的粒子并沒(méi)有鍍到樣品上，這些東西都有可能，你可以再做一次，確定你工藝參數(shù)沒(méi)問(wèn)題后在操作上花功夫，保證萬(wàn)無(wú)一失。祝你成功。 |
6樓2014-01-02 10:58:41
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10樓2014-12-27 16:39:14
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