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茉莉花開1新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射鍍碳膜沒有鍍上去 已有2人參與
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| 請(qǐng)教高手一個(gè)問題，在用磁控濺射射頻鍍碳膜的時(shí)候，發(fā)現(xiàn)起輝等射頻工作都正常，鍍了兩個(gè)小時(shí)后取出來樣品表面沒有變化，碳膜沒有鍍上去。有沒有哪位同學(xué)知道是怎么一回事呀。謝謝。 |
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申請(qǐng)回稿延期一個(gè)月，編輯同意了。但系統(tǒng)上的時(shí)間沒變，給編輯又寫郵件了，沒回復(fù)
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2樓2013-12-30 21:29:34
茉莉花開1
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3樓2013-12-30 21:43:22
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5樓2013-12-31 13:59:47
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【答案】應(yīng)助回帖
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| 據(jù)我的經(jīng)驗(yàn)，可能你這濺射儀以前的靶材不是鍍碳的，現(xiàn)在你用來鍍碳，用的工藝參數(shù)還沒有改過來，導(dǎo)致你的膜沒有鍍上，也有可能你這工藝參數(shù)沒問題，但是操作過程中某一部分出現(xiàn)了偏差，例如，保護(hù)氣通入的時(shí)候進(jìn)入了一部分空氣，導(dǎo)致濺射的時(shí)候產(chǎn)生輝光，但是靶材上出來的粒子并沒有鍍到樣品上，這些東西都有可能，你可以再做一次，確定你工藝參數(shù)沒問題后在操作上花功夫，保證萬無一失。祝你成功。 |
6樓2014-01-02 10:58:41
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9樓2014-10-16 22:08:18
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