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zochunphy銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
CVD過程真關(guān)于低壓充氣氛的問題 已有2人參與
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| 一般CVD制備石墨烯前都要對爐子進(jìn)行抽真空，保持低壓狀態(tài)，那么問題來了，爐子里處于低壓狀態(tài)，如何在既保持爐子內(nèi)低壓狀態(tài)通入氣體，還能在低壓狀態(tài)下排出氣體呢，因?yàn)闋t子內(nèi)的氣壓比外界小，那么氣體只能進(jìn)入爐子而不能排出啊。 |
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sidalixue
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2樓2015-05-18 11:08:44
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3樓2015-05-18 11:30:15
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4樓2015-05-18 15:33:36
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5樓2015-05-18 15:41:41
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【答案】應(yīng)助回帖
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看你需要多大的真空度了，我現(xiàn)在是這么做的，不知道對不對。 如果需要低真空，一兩百帕左右，那么在機(jī)械泵抽的情況下通100 sccm的氣體，會保持在 100-200左右， 如果要再高點(diǎn)，可以預(yù)抽真空后，關(guān)掉泵，打開出氣口，很小一點(diǎn)就行，這時(shí)管內(nèi)壓力大概在 2 kPa左右。 說到此，我也有一個(gè)問題，Atmospheric pressure 到底是多少？不是大氣壓嗎？我在一個(gè)Nature Mater 文章中看到 他說這個(gè)壓力是1 kPa左右，難道就是我說的后一種情況？ |
6樓2015-06-26 09:56:41
dancy1987
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7樓2015-06-26 10:37:54
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