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zochunphy銅蟲 (小有名氣)
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CVD過程真關(guān)于低壓充氣氛的問題 已有2人參與
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| 一般CVD制備石墨烯前都要對爐子進行抽真空,保持低壓狀態(tài),那么問題來了,爐子里處于低壓狀態(tài),如何在既保持爐子內(nèi)低壓狀態(tài)通入氣體,還能在低壓狀態(tài)下排出氣體呢,因為爐子內(nèi)的氣壓比外界小,那么氣體只能進入爐子而不能排出啊。 |
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