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請問ALD長的氧化鋁怎么圖形化?不想濕法腐蝕,干法的話蘇州納米所也不知道參數(shù) 已有2人參與
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小弟懂的比較少,想問個(gè)問題,就是我在金電極上面長了十幾納米的氧化鋁(不得已長在了上面 ),這塊區(qū)域的氧化鋁是我不想要的(只有這個(gè)圓形的區(qū)域上面的氧化鋁要去除,半徑不到10微米),因?yàn)槲蚁朐谶@個(gè)電極上通電(電壓3V左右,這十幾納米的氧化鋁會導(dǎo)致不通電吧?還是這么薄的氧化鋁能通電 ?),我想把這層氧化鋁掏一個(gè)圓形的孔,然后再通電.......所以要去除......但是怎么去除啊,又不能整片的去除 |
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