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請(qǐng)問ALD長的氧化鋁怎么圖形化？不想濕法腐蝕，干法的話蘇州納米所也不知道參數(shù) 已有2人參與
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小弟懂的比較少，想問個(gè)問題，就是我在金電極上面長了十幾納米的氧化鋁（不得已長在了上面 ），這塊區(qū)域的氧化鋁是我不想要的（只有這個(gè)圓形的區(qū)域上面的氧化鋁要去除，半徑不到10微米），因?yàn)槲蚁朐谶@個(gè)電極上通電（電壓3V左右，這十幾納米的氧化鋁會(huì)導(dǎo)致不通電吧？還是這么薄的氧化鋁能通電？），我想把這層氧化鋁掏一個(gè)圓形的孔，然后再通電.......所以要去除......但是怎么去除啊，又不能整片的去除 |
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yswyx 
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8樓2021-10-19 21:56:05
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