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[交流]
聲表面波濾波器（SAW filter）之叉指換能器（IDT）設計，大家有什么好的建議沒。
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本人想設計一種比較簡單的聲表面波器件，通過器件性能測試來表征AlN壓電薄膜的壓電系數(shù)d33、機電耦合系數(shù)等基本參數(shù)，但偶對器件設計設計基本是一竅不通，畢竟不是這個專業(yè)的（俺是搞材料的），不知道如何設計mask、光刻工藝等等后續(xù)加工步驟。 初步構想是，IDT指寬1μm，指間距等于指寬，指采用Al膜，厚度200nm，和微電子所老師溝通采用負膠（但他們畢竟不是做SAW的，沒有給出過多的建議）， 那么問題來了，試樣大小一般10*10mm（比較�。�，多片（大概5、6片吧，厚度基本一致） 1、一般指對數(shù)一般用多少（30對合適嗎）？ 2、指間重疊區(qū)域的長度有什么原則？ 3、兩邊的吸聲材料一般選擇什么材料，如何設計形狀位置、沉積工藝等？ 4、引出的電極一般如何設計？選用材料、引出位置、長度等？ 5、輸入端與輸出端IDT之間的間隔一般多遠？ 6、若想同時對多個襯底表面進行掩膜、光刻，而微電子所一般采用2.5inch的板，如何排布我的試樣，可以保證表面基本處于同一水平位置？ 7、其他未盡事宜，也請大家多多補充，給出建議。 Note：此貼也算是對IDT設計的綜合帖靶，希望大家踴躍發(fā)言，可能的話，對以后關注這方面的人也能提供點幫助，不要心疼我的金幣，跟帖越多金幣越多哦。 |
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8樓2015-06-04 23:03:20
22樓2015-06-09 20:05:11
23樓2015-06-10 10:10:05
24樓2015-09-24 09:32:43
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不好意思哈，我不是做SAW模擬的，只是單純設計做個器件測試性能的，不過我可以給你推薦清華大學潘峰團隊，他們是做材料，好像也有模擬，你可以去那邊試試 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
25樓2015-09-24 15:29:17
26樓2017-06-13 20:20:14
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你好，冒昧打擾！本人想做以鉭酸鋰黑片為基片的聲表面波濾波器，也是做測試用，本人是做晶體材料費的，想在對自己的材料做器件封裝測試，希望給予指導，謝謝 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
27樓2017-06-13 20:26:46
28樓2018-06-05 14:36:28
簡單回復
dmbb2樓
2015-06-04 22:28
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塵軒無夢15樓
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