zbnet

金蟲 (小有名氣)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 2819.4
帖子: 56
在線: 31.7小時(shí)
蟲號(hào): 1269151

[交流] 聲表面波濾波器（SAW filter）之叉指換能器（IDT）設(shè)計(jì)，大家有什么好的建議沒。

本人想設(shè)計(jì)一種比較簡單的聲表面波器件，通過器件性能測試來表征AlN壓電薄膜的壓電系數(shù)d33、機(jī)電耦合系數(shù)等基本參數(shù)，但偶對(duì)器件設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)基本是一竅不通，畢竟不是這個(gè)專業(yè)的（俺是搞材料的），不知道如何設(shè)計(jì)mask、光刻工藝等等后續(xù)加工步驟。
初步構(gòu)想是，IDT指寬1μm，指間距等于指寬，指采用Al膜，厚度200nm，和微電子所老師溝通采用負(fù)膠（但他們畢竟不是做SAW的，沒有給出過多的建議），
那么問題來了，試樣大小一般10*10mm（比較�。�，多片（大概5、6片吧，厚度基本一致）
1、一般指對(duì)數(shù)一般用多少（30對(duì)合適嗎）？
2、指間重疊區(qū)域的長度有什么原則？
3、兩邊的吸聲材料一般選擇什么材料，如何設(shè)計(jì)形狀位置、沉積工藝等？
4、引出的電極一般如何設(shè)計(jì)？選用材料、引出位置、長度等？
5、輸入端與輸出端IDT之間的間隔一般多遠(yuǎn)？
6、若想同時(shí)對(duì)多個(gè)襯底表面進(jìn)行掩膜、光刻，而微電子所一般采用2.5inch的板，如何排布我的試樣，可以保證表面基本處于同一水平位置？
7、其他未盡事宜，也請(qǐng)大家多多補(bǔ)充，給出建議。
Note：此貼也算是對(duì)IDT設(shè)計(jì)的綜合帖靶，希望大家踴躍發(fā)言，可能的話，對(duì)以后關(guān)注這方面的人也能提供點(diǎn)幫助，不要心疼我的金幣，跟帖越多金幣越多哦。

回復(fù)此樓

» 猜你喜歡

院士團(tuán)隊(duì)-每屆學(xué)生都優(yōu)秀-高自由度-團(tuán)隊(duì)氛圍好已經(jīng)有0人回復(fù)
求調(diào)劑已經(jīng)有3人回復(fù)
無機(jī)化學(xué)論文潤色/翻譯怎么收費(fèi)? 已經(jīng)有112人回復(fù)
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）已經(jīng)有0人回復(fù)
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效已經(jīng)有0人回復(fù)
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑已經(jīng)有0人回復(fù)
武漢高校國家級(jí)人才團(tuán)隊(duì)招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生已經(jīng)有26人回復(fù)
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟已經(jīng)有0人回復(fù)
溫州大學(xué)化材學(xué)院王娟課題組招生已經(jīng)有5人回復(fù)
學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學(xué)生赴985海外深造已經(jīng)有0人回復(fù)
武漢紡織大學(xué)化工學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-10余名學(xué)生赴985海外深造已經(jīng)有0人回復(fù)

» 本主題相關(guān)商家推薦: (我也要在這里推廣)

» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:

關(guān)于如何利用聲表面波濾波器產(chǎn)生聲表面波已經(jīng)有6人回復(fù)

» 搶金幣啦！回帖就可以得到:

查看全部散金貼

1樓 2015-06-04 22:25:54

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

zhuguiqiu

禁蟲 (文壇精英)

★
zbnet(金幣+1): 謝謝參與

本帖內(nèi)容被屏蔽

8樓2015-06-04 23:03:20

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

keyabing

金蟲 (小有名氣)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 1069.3
帖子: 75
在線: 405.2小時(shí)
蟲號(hào): 468668

★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

聲表面波器件主要有兩種結(jié)構(gòu)：諧振腔和延遲線。IDT設(shè)計(jì)要看樓主采用哪種結(jié)構(gòu)。

贊一下

回復(fù)此樓

22樓2015-06-09 20:05:11

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

zbnet

金蟲 (小有名氣)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 2819.4
帖子: 56
在線: 31.7小時(shí)
蟲號(hào): 1269151

引用回帖:

22樓: Originally posted by keyabing at 2015-06-09 20:05:11
聲表面波器件主要有兩種結(jié)構(gòu)：諧振腔和延遲線。IDT設(shè)計(jì)要看樓主采用哪種結(jié)構(gòu)。

哦，可能是我帖子里沒有說清楚吧，我就想設(shè)計(jì)一個(gè)聲表面波濾波器（SAW Filter），一般分輸入端與輸出端（Input and output IDT），不要太復(fù)雜的就ok了，謝謝

[ 發(fā)自小木蟲客戶端 ]

贊一下

回復(fù)此樓

23樓2015-06-10 10:10:05

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

居curie

金蟲 (小有名氣)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 1419.7
帖子: 233
在線: 495.7小時(shí)
蟲號(hào): 1090382

★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

引用回帖:

您好，我想請(qǐng)教一下朋友您有沒有用過MATLAB仿真SAW濾波器？比如變跡加權(quán)那種結(jié)構(gòu)的。如果有可不可以交流哈，留個(gè)QQ行不

贊一下

回復(fù)此樓

24樓2015-09-24 09:32:43

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

zbnet

金蟲 (小有名氣)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 2819.4
帖子: 56
在線: 31.7小時(shí)
蟲號(hào): 1269151

引用回帖:

24樓: Originally posted by 居curie at 2015-09-24 09:32:43
您好，我想請(qǐng)教一下朋友您有沒有用過MATLAB仿真SAW濾波器？比如變跡加權(quán)那種結(jié)構(gòu)的。如果有可不可以交流哈，留個(gè)QQ行不...

不好意思哈，我不是做SAW模擬的，只是單純?cè)O(shè)計(jì)做個(gè)器件測試性能的，不過我可以給你推薦清華大學(xué)潘峰團(tuán)隊(duì)，他們是做材料，好像也有模擬，你可以去那邊試試

發(fā)自小木蟲Android客戶端

贊一下

回復(fù)此樓

» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）

xxf1204

25樓2015-09-24 15:29:17

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

xxf1204

新蟲 (小有名氣)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 149.1
帖子: 127
在線: 37.7小時(shí)
蟲號(hào): 6265086

★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

為何沒有人回復(fù)呢？坐等這方面知識(shí)

發(fā)自小木蟲Android客戶端

贊一下

回復(fù)此樓

26樓2017-06-13 20:20:14

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

xxf1204

新蟲 (小有名氣)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 149.1
帖子: 127
在線: 37.7小時(shí)
蟲號(hào): 6265086

★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

送紅花一朵

引用回帖:

25樓: Originally posted by zbnet at 2015-09-24 15:29:17
不好意思哈，我不是做SAW模擬的，只是單純?cè)O(shè)計(jì)做個(gè)器件測試性能的，不過我可以給你推薦清華大學(xué)潘峰團(tuán)隊(duì)，他們是做材料，好像也有模擬，你可以去那邊試試
...

你好，冒昧打擾！本人想做以鉭酸鋰黑片為基片的聲表面波濾波器，也是做測試用，本人是做晶體材料費(fèi)的，想在對(duì)自己的材料做器件封裝測試，希望給予指導(dǎo)，謝謝

發(fā)自小木蟲Android客戶端

贊一下

回復(fù)此樓

27樓2017-06-13 20:26:46

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

Dongdeduoa

新蟲 (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 10.5
帖子: 44
在線: 2.3小時(shí)
蟲號(hào): 7752335

★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

我也在做類似的可以私聊我也有一些問題加工精度我搞定了但是沒有形成電容不知道為什么可以交流下

發(fā)自小木蟲IOS客戶端

贊一下

回復(fù)此樓

28樓2018-06-05 14:36:28

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

簡單回復(fù)

dmbb2樓

2015-06-04 22:28 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

shenrenren3樓

2015-06-04 22:29 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

jixiangbao4樓

2015-06-04 22:33 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

cxjzly20085樓

2015-06-04 22:40 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

于士輝6樓

2015-06-04 22:55 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

syhorchid7樓

2015-06-04 22:59 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

Walnut19樓

2015-06-04 23:06 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

引用回帖:

4樓: Originally posted by jixiangbao at 2015-06-04 22:33:10

？ [ 發(fā)自手機(jī)版 http://www.gaoyang168.com/3g ]

小木鴨10樓

2015-06-04 23:14 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

怕哦哦哦11樓

2015-06-04 23:19 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

guanlianwu12樓

2015-06-04 23:31 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

zhangwei1913樓

2015-06-04 23:31 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

xiejf14樓

2015-06-04 23:35 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

一

塵軒無夢(mèng)15樓

2015-06-04 23:37 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

， [ 發(fā)自手機(jī)版 http://www.gaoyang168.com/3g ]

落花劍雨16樓

2015-06-05 00:32 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

springburn17樓

2015-06-05 00:49 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

tzynew18樓

2015-06-05 05:09 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

miaojiabing19樓

2015-06-05 06:31 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

sdjkjinggg20樓

2015-06-05 06:40 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

阿Q~~21樓

2015-06-05 07:27 回復(fù)

zbnet(金幣+1): 謝謝參與

最具人氣熱帖推薦 [查看全部]	作者	回/看	最后發(fā)表

[考研] 張芳銘-中國農(nóng)業(yè)大學(xué)-環(huán)境工程專碩-298 +3	手機(jī)用戶 2026-03-26	3/150	2026-03-27 21:39 by lbsjt
[考研] 340求調(diào)劑 +4	jhx777 2026-03-27	4/200	2026-03-27 16:50 by sanrepian
[考研] 308求調(diào)劑 +6	墨墨漠 2026-03-27	6/300	2026-03-27 15:20 by caszguilin
[考研] 276求調(diào)劑。有半年電池和半年高分子實(shí)習(xí)經(jīng)歷 +10	材料學(xué)257求調(diào)劑 2026-03-23	11/550	2026-03-27 10:13 by YCIT- LHL
[考研] 一志愿陜師大生物學(xué)071000，298分，求調(diào)劑 +5	SYA！ 2026-03-23	5/250	2026-03-27 09:29 by 不吃魚的貓
[考研] 材料學(xué)碩，求調(diào)劑 6+5	糖葫蘆888ll 2026-03-22	10/500	2026-03-27 08:18 by hypershenger
[考研] 求調(diào)劑，一志愿南京航空航天大學(xué)大學(xué) ，080500材料科學(xué)與工程學(xué)碩 +4	@taotao 2026-03-26	5/250	2026-03-27 08:10 by hypershenger
[考研] 349求調(diào)劑 +5	杰斯塔里斯 2026-03-21	5/250	2026-03-27 00:31 by wxiongid
[考研] 求調(diào)劑一志愿本科北科大化學(xué) 343 +6	13831862839 2026-03-24	7/350	2026-03-26 22:57 by 不吃魚的貓
[考研] 297求調(diào)劑 +6	田洪有 2026-03-26	6/300	2026-03-26 15:55 by 不吃魚的貓
[考研] 081700 調(diào)劑 267分 +11	迷人的哈哈 2026-03-23	11/550	2026-03-26 15:41 by zzll406
[考研] 299求調(diào)劑 +4	15188958825 2026-03-25	4/200	2026-03-25 22:56 by 418490947
[考研] 考研一志愿蘇州大學(xué)初始315（英一）求調(diào)劑 +3	sbdksD 2026-03-24	4/200	2026-03-25 18:16 by xcjcqu
[考研] 293求調(diào)劑 +7	加一一九 2026-03-24	7/350	2026-03-25 12:02 by userper
[考研] 318求調(diào)劑 +5	plum李子 2026-03-21	8/400	2026-03-25 09:26 by aa331100
[考研] 289材料與化工（085600）B區(qū)求調(diào)劑 +4	這么名字咋樣 2026-03-22	5/250	2026-03-25 08:20 by mx.yue
[考研] 材料考研調(diào)劑生 +3	黃粱一夢(mèng)千年 2026-03-24	3/150	2026-03-24 17:00 by barlinike
[考研] 一志愿南航材料專317分求調(diào)劑 +5	炸呀炸呀炸薯?xiàng)l 2026-03-23	5/250	2026-03-24 16:52 by 星空星月
[考研] 292求調(diào)劑 +4	鵝鵝鵝額額額額?/a> 2026-03-24	4/200	2026-03-24 16:41 by peike
[考研] 材料學(xué)碩301分求調(diào)劑 +7	Liyouyumairs 2026-03-21	7/350	2026-03-21 22:31 by peike