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BJ05428銅蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
碳化鉿（HfC）納米涂層制備失敗 已有1人參與
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求助大神幫助，我依靠PVD磁控濺射制備碳化鉿（HfC）納米涂層，依靠氬氣和乙炔，乙炔的比例我已經(jīng)調(diào)的很低了，低的已經(jīng)快不符合量程范圍難以控制了，但是碳化鉿的靶材還是老是變黑，每次制備好靶材估計(jì)都是一層碳粉。硬度往往只有4-9GPa，而且XRD也沒(méi)有峰，請(qǐng)問(wèn)有人有過(guò)類似的經(jīng)驗(yàn)，并有什么改進(jìn)思路的推薦嗎？萬(wàn)分感謝，如有的話，請(qǐng)站內(nèi)信聯(lián)系。 [ Last edited by 月牙兒的微笑 on 2015-9-5 at 23:28 ] |
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 薄膜制備與特性 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
BJ05428: 金幣+20, ★★★很有幫助, 提示了新的嘗試解決思路 2015-06-06 10:26:22
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
BJ05428: 金幣+20, ★★★很有幫助, 提示了新的嘗試解決思路 2015-06-06 10:26:22
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查找一下相關(guān)文獻(xiàn)，找找最佳參數(shù)。靶材變黑，應(yīng)該是靶材功率不夠，靶材表面濺射產(chǎn)額小于有機(jī)物生成產(chǎn)額導(dǎo)致的靶中毒。像這種反應(yīng)濺射，應(yīng)該在基片上反應(yīng)，不是靶材上。 [ 發(fā)自小木蟲(chóng)客戶端 ] |
2樓2015-06-06 07:23:25
BJ05428
銅蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 119.1
- 帖子: 64
- 在線: 11.2小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1390402
- 注冊(cè): 2011-09-05
- 專業(yè): 零件加工制造
3樓2015-06-06 10:25:23
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