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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術交流 » 碳化鉿（HfC）納米涂層制備失敗
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[求助]
碳化鉿（HfC）納米涂層制備失敗 已有1人參與
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求助大神幫助，我依靠PVD磁控濺射制備碳化鉿（HfC）納米涂層，依靠氬氣和乙炔，乙炔的比例我已經(jīng)調(diào)的很低了，低的已經(jīng)快不符合量程范圍難以控制了，但是碳化鉿的靶材還是老是變黑，每次制備好靶材估計都是一層碳粉。硬度往往只有4-9GPa，而且XRD也沒有峰，請問有人有過類似的經(jīng)驗，并有什么改進思路的推薦嗎？萬分感謝，如有的話，請站內(nèi)信聯(lián)系。 [ Last edited by 月牙兒的微笑 on 2015-9-5 at 23:28 ] |
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2樓2015-06-06 07:23:25
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