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[求助]
GaN上電極的低溫制作
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新人求問，一般GaN上通過磁控濺射鍍金屬，再800度以上退火形成歐姆接觸，但由于我的樣品結(jié)構(gòu)里含有InN，因此承受不了那樣的高溫，求別的制作電極的方法。樣品用MBE生長，結(jié)構(gòu)如下： 20nm GaN/ 1ML InN/ 100nm GaN/ GaN template 表面就是20nm的GaN，求問如何在其上制作歐姆接觸的電極。 |
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2樓2015-07-20 15:08:38
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