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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » ALD生長Al2O3
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[求助]
ALD生長Al2O3 已有2人參與
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| 我最近在做ALD在Si片上長AL2O3，不過我們用的是自己在實驗室搭建的一個小型ALD設(shè)備，我們使用的是也是三甲基鋁，和水。在長之前用HF去除Si表面的SiO2，AFM測出來挺平整的，但是長完Al2O3后（約2nm），表面很多柱狀的東西，不知道大家有沒有這種情況。是不是因為HF酸腐蝕后，表面形成H-Si鍵鈍化了，使得Al2O3不能再上邊生長，然而有些地方?jīng)]有形成Si-H鍵，所以可以生長，最終表面為不均勻的柱狀分布，還望多多指教，謝謝！ |
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wanghuaxing 
禁蟲 (小有名氣)
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2樓2015-07-24 21:43:53
3樓2015-07-27 13:04:59
wanghuaxing
禁蟲 (小有名氣)
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
4樓2015-07-28 23:15:32
~金蘑菇~
新蟲 (初入文壇)
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5樓2015-07-29 16:31:58
6樓2016-02-25 21:16:41
7樓2016-10-24 13:18:34
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