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[求助]
ALD生長Al2O3 已有2人參與
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| 我最近在做ALD在Si片上長AL2O3，不過我們用的是自己在實驗室搭建的一個小型ALD設(shè)備，我們使用的是也是三甲基鋁，和水。在長之前用HF去除Si表面的SiO2，AFM測出來挺平整的，但是長完Al2O3后（約2nm），表面很多柱狀的東西，不知道大家有沒有這種情況。是不是因為HF酸腐蝕后，表面形成H-Si鍵鈍化了，使得Al2O3不能再上邊生長，然而有些地方?jīng)]有形成Si-H鍵，所以可以生長，最終表面為不均勻的柱狀分布，還望多多指教，謝謝！ |
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3樓2015-07-27 13:04:59
wanghuaxing 
禁蟲 (小有名氣)
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
2樓2015-07-24 21:43:53
wanghuaxing
禁蟲 (小有名氣)
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
4樓2015-07-28 23:15:32
~金蘑菇~
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 152.5
- 帖子: 36
- 在線: 14.3小時
- 蟲號: 1875735
- 注冊: 2012-07-02
- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
5樓2015-07-29 16:31:58
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