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evanbossccp木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
離子束刻蝕機(jī)的刻蝕均勻性（3寸片）總是達(dá)不到3%，急求原因�。�！ 已有2人參與
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各位大神，我們自主研制的”離子束刻蝕機(jī)“，基片臺(tái)公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)模式，基片臺(tái)含3個(gè)自轉(zhuǎn)盤(pán)（裝3寸片），3個(gè)自轉(zhuǎn)盤(pán)繞中心公轉(zhuǎn)，3個(gè)自轉(zhuǎn)盤(pán)組成6寸大的基片臺(tái)，按理說(shuō)，我們采用的基片臺(tái)公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)模式，樣品的刻蝕均勻性應(yīng)該很好，但是，我們現(xiàn)在單個(gè)自轉(zhuǎn)盤(pán)的片內(nèi)均勻性都達(dá)不到3%，更不用提在6寸范圍內(nèi)（含3個(gè)自轉(zhuǎn)盤(pán)）達(dá)到3%的均勻性了，究竟是什么原因？還請(qǐng)行內(nèi)高手不吝指教！��！ 問(wèn)題請(qǐng)教： 1、影響”離子束刻蝕機(jī)“均勻性的決定性因素是什么？離子源？基片臺(tái)旋轉(zhuǎn)模式？還是兩者都有？ 2、目前，我們懷疑離子源的束流和基片臺(tái)的旋轉(zhuǎn)不匹配，也可能是基片臺(tái)旋轉(zhuǎn)不穩(wěn)定（比如說(shuō)輕微的抖動(dòng)）造成刻蝕均勻性不好，這種猜測(cè)合理嗎？ 3、解決”離子束刻蝕機(jī)“刻蝕均勻性要從哪些方面著手改進(jìn)？ |
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求調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
physics123
銀蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 615.1
- 帖子: 167
- 在線: 50.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 298579
- 注冊(cè): 2006-11-19
- 專(zhuān)業(yè): 等離子體物理
2樓2015-11-09 16:38:15
zle_jy
木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 6658.9
- 散金: 176
- 紅花: 1
- 帖子: 1016
- 在線: 661小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 470065
- 注冊(cè): 2007-11-29
- 專(zhuān)業(yè): 光子與光電子器件
3樓2021-07-02 16:41:12
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