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五百姐姐銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
關(guān)于GaN外延片上ITO層的沉積問題 已有1人參與
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原來ITO層是用電子束蒸發(fā)做的，最近試著改用濺射沉積ITO層。 結(jié)果做出來的ITO層電阻變小，透過率也升高了，但是，芯片的Vf卻上升了，甚至還有部分樣品上升很大。 整個前工藝段除了沉積方式不同其他都一樣，ITO厚度也一樣。 希望有經(jīng)驗的大神能指點下，可能是哪方面的問題？不甚感激！ |
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bytianping
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2樓2015-07-31 20:26:34
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3樓2015-08-03 08:03:14
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4樓2015-08-03 15:05:31
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5樓2015-08-03 22:21:24
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6樓2015-08-05 03:56:20
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7樓2015-08-05 09:54:14
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