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單面拋光的InP磷化銦片子在甩光刻膠之前如何清洗呀？ 已有1人參與
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單面拋光的InP磷化銦片子在甩光刻膠之前如何清洗呀？ 我們用的用的acetone-IPA-alcohol-DI清洗的片子，但是甩膠的效果很差，就算把片子甩膠了有點(diǎn)花里胡哨的感覺。 我在想，是不是因?yàn)镮nP與光刻膠的浸潤性有關(guān)？如何改變InP表面的親疏水性？ 網(wǎng)上有利用NH4OH去掉InP的native oxide layer。我試了，看到片子的光澤明顯降低。 現(xiàn)在不知怎么處理啦！按說新買的片子是取出就可以用的，但是我們這邊還要在清洗一遍。。  |
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石銀東
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
孤子游俠: 金幣+10, ★有幫助, 謝謝你的評(píng)論，忘記介紹了等離子體表面活化了，實(shí)驗(yàn)室能做，就是有點(diǎn)麻煩。 2015-08-06 18:03:15
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如果單單拿出你想要的清洗和親疏水的效果，那么這兩者加起來就是等離子清洗機(jī)的常用功能了。 等離子清洗機(jī)用空氣、氮?dú)狻⒓淄�、氬氣等等作為氣源，在真空狀態(tài)下進(jìn)行輝光放電，將氣源變成等離子態(tài)，作用到物體表面，進(jìn)行超潔凈清洗，同時(shí)可以提高表面的活化能，增加親水性。 有需要私信我啊，或者留下你的扣扣。 |
2樓2015-08-06 16:47:06
3樓2015-08-06 18:05:56
石銀東
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4樓2015-08-07 09:06:08
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