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單面拋光的InP磷化銦片子在甩光刻膠之前如何清洗呀？ 已有1人參與
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單面拋光的InP磷化銦片子在甩光刻膠之前如何清洗呀？ 我們用的用的acetone-IPA-alcohol-DI清洗的片子，但是甩膠的效果很差，就算把片子甩膠了有點花里胡哨的感覺。 我在想，是不是因為InP與光刻膠的浸潤性有關(guān)？如何改變InP表面的親疏水性？ 網(wǎng)上有利用NH4OH去掉InP的native oxide layer。我試了，看到片子的光澤明顯降低。 現(xiàn)在不知怎么處理啦！按說新買的片子是取出就可以用的，但是我們這邊還要在清洗一遍。。  |
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4樓2015-08-07 09:06:08
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