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FLYFWY木蟲 (小有名氣)
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磁控濺射基片溫度測(cè)定與控制 已有4人參與
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用磁控濺射在石英或者SiC基片上鍍金屬厚膜，想盡可能地把膜鍍厚，但鍍厚了 經(jīng)常膜裂或者卷曲，懷疑是鍍膜時(shí)間太久（7h以上），熱應(yīng)力太大的原因。 所以想咨詢一下 1.基片溫度測(cè)定與控制一般都有什么方法？ 2.樣品臺(tái)水冷的方法試過了，膜一鍍上去就要起皺（基片溫度太低的原因？） 3.紅外測(cè)溫度話在這么低的溫度范圍內(nèi)不知靠不靠譜？ 謝謝！ |
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