 |
 |
 |
| 24小時(shí)熱門(mén)版塊排行榜 |
- >論壇更新日志 (692)
- >考研 (80)
- >導(dǎo)師招生 (79)
- >考博 (46)
- >蟲(chóng)友互識(shí) (15)
- >論文投稿 (7)
- >休閑灌水 (7)
- >基金申請(qǐng) (6)
- >農(nóng)林 (5)
- >碩博家園 (4)
- >博后之家 (3)
- >生物科學(xué) (3)
- >第一性原理 (2)
- >文獻(xiàn)求助 (2)
- > (2)
- >招聘信息布告欄 (1)
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1176 | 回復(fù): 4 | ||
殘缺2012新蟲(chóng) (初入文壇)
|
[求助]
等離子體增強(qiáng)原子層沉積（PEALD）制備TiO2薄膜 已有1人參與
|
用等離子體增強(qiáng)原子層沉積（PEALD）制備TiO2薄膜，主要是想在低溫下（100℃）能將其成功沉積，前驅(qū)體源為四異丙醇鈦（TTIP）和O2等離子體，基底是單面拋光的P型硅片，載氣為Ar，具體參數(shù)如下，請(qǐng)蟲(chóng)友們幫我分析下那個(gè)參數(shù)不合理導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)老失敗 Heater： 100℃ Purge： 120℃ Pumpline： 150℃ TTIP源瓶加熱溫度：65℃ Chamber： 100℃ 反應(yīng)工藝壓力：0.15 torr 根據(jù)0.15torr的反應(yīng)壓力，設(shè)置載氣流量，有三個(gè)Ar的管道，流量分別為30，20,16 sccm O2等離子體的流量20 sccm Plasma的功率：150W 配方： Dose—Reaction--Purge—Plasma—Purge—Goto—End 1s 2s 100s 15s 40s 500次 以前在TALD上做過(guò)TiO2，沉積溫度是200℃，現(xiàn)在主要研究低溫沉積，所以用了PEALD-100A設(shè)備，我覺(jué)得影響因素較大的應(yīng)該是配方中的Dose時(shí)間，我試過(guò)0.5s，1s和2s，都沒(méi)有用，請(qǐng)各位大神們指點(diǎn)一二~。~ PEALD界面圖 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
溫州大學(xué)2026年招生（化學(xué)、材料）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
招生負(fù)責(zé)_院士團(tuán)隊(duì)_學(xué)生高自由度成長(zhǎng)_擅長(zhǎng)學(xué)生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
無(wú)機(jī)化學(xué)論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有118人回復(fù)
-
溫州大學(xué)招收2026年入學(xué)博士研究生（化學(xué)、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
非晶合金
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
院士團(tuán)隊(duì)-每屆學(xué)生都優(yōu)秀-高自由度-團(tuán)隊(duì)氛圍好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國(guó)家級(jí)人才團(tuán)隊(duì)招收材料，化學(xué)，紡織等專(zhuān)業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有8人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 等離子體增強(qiáng)原子層沉積（PEALD）制備TiO2薄膜
已經(jīng)有2人回復(fù)
2樓2015-08-20 16:49:45
3樓2015-09-17 16:38:33
dearmaximus
金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
迷途小書(shū)童/二手科學(xué)家
- 應(yīng)助: 8 (幼兒園)
- 金幣: 2514.8
- 散金: 30
- 紅花: 5
- 帖子: 665
- 在線(xiàn): 341.4小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 355083
- 注冊(cè): 2007-04-25
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體電子器件
4樓2015-12-01 16:07:05
飛兒271
新蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 7.4
- 散金: 65
- 帖子: 101
- 在線(xiàn): 62.5小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 3331473
- 注冊(cè): 2014-07-20
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 無(wú)機(jī)非金屬類(lèi)電介質(zhì)與電解
5樓2017-02-20 14:30:06
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 殘缺2012 的主題更新
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +6 | 冬十三 2026-03-18 | 6/300 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 招08考數(shù)學(xué) +4 | laoshidan 2026-03-20 | 8/400 |
|
|
|
[基金申請(qǐng)] 山東省面上項(xiàng)目限額評(píng)審 +4 | 石瑞0426 2026-03-19 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 廣西大學(xué)材料導(dǎo)師推薦 +3 | 夏夏夏小正 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求助 +5 | 夢(mèng)里的無(wú)言 2026-03-21 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)297求調(diào)劑 +3 | Daisy☆ 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 302求調(diào)劑 +12 | 呼呼呼。。。。 2026-03-17 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 22 350 本科985求調(diào)劑，求老登收留 +3 | 李軼男003 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 332求調(diào)劑 +3 | 鳳凰院丁真 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 085601調(diào)劑 358分 +3 | zzzzggh 2026-03-20 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 301求調(diào)劑 +10 | yy要上岸呀 2026-03-17 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 二本跨考鄭大材料306英一數(shù)二 +3 | z1z2z3879 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 南京大學(xué)化學(xué)376求調(diào)劑 +3 | hisfailed 2026-03-19 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 294求調(diào)劑材料與化工專(zhuān)碩 +15 | 陌の森林 2026-03-18 | 15/750 |
|
|
|
[考研]
 295復(fù)試調(diào)劑
+8
|
簡(jiǎn)木ChuFront 2026-03-19 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | @taotao 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 085410人工智能專(zhuān)碩317求調(diào)劑（0854都可以） +4 | xbxudjdn 2026-03-18 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 334求調(diào)劑 +3 | 志存高遠(yuǎn)意在機(jī)?/a> 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考博] 26博士申請(qǐng) +3 | 1042136743 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 333求調(diào)劑 +3 | 文思客 2026-03-16 | 7/350 |
|