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melonetern新蟲 (初入文壇)
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[求助]
硅片與鋁片的銜接Bonding 已有1人參與
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為了測(cè)試能讓自由電子通透的薄膜的真空隔離性（電子能通過，但是薄膜及硅片經(jīng)過處理后有個(gè)真空小空間）。需要進(jìn)行薄膜真空性能測(cè)試。 問題的重點(diǎn)是真空測(cè)試如何構(gòu)架。 我們的方案是將硅片和鋁輪緣連接，再將輪緣與真空儀器連接。 所以進(jìn)一步的問題是，如何將鋁塊（上面有洞）與硅片結(jié)合并且秘不透風(fēng)。 鋁輪緣上濺射銅已經(jīng)搞定，硅片上先濺射50nm Cr或者Ti,再濺射1um Cu,都試過了，可是用膠帶測(cè)試黏附型都失敗了。是我操作有問題嗎，還是想法本身有問題。 PS: 以上步驟成功后，將各自濺射銅的硅片和鋁輪緣用薄焊片焊接起來形成真空。 我的主要問題是如何在硅片上成功濺射銅，黏附性一定要好。 望各位前輩指教。 Lecksuch.png |
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 薄膜制備與特性 |
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melonetern: 回帖置頂 2015-09-08 22:25:28
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melonetern: 回帖置頂 2015-09-08 22:25:28
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還是自己解決了。供以后有類似問題的朋友參考。 其實(shí)就是濺射Cu的功率太大了，本來用了1100W，后來改成500W。前后兩次連濺射完之后銅層的顏色都不一樣。前面那個(gè)顏色深且不均勻，過大的功率導(dǎo)致硅片受到?jīng)_力產(chǎn)生微彎曲。后面那個(gè)顏色均勻，光滑，好看，一看就是高大上的產(chǎn)物。 硅片和輪緣的bonding還沒做，后面做成功了再更新。  |
6樓2015-08-28 19:33:46
melonetern
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3樓2015-08-21 09:02:38
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4樓2015-08-25 19:36:43
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