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kevin123581金蟲 (正式寫手)
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關(guān)于XPS測(cè)量元素比例的問(wèn)題
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關(guān)于xps測(cè)量元素種類應(yīng)該是很準(zhǔn)確的。但是對(duì)于元素含量比例的問(wèn)題來(lái)講，結(jié)果的可信度如何呢？ 我查了些資料，上面表示xps至少存在20%的定量誤差，其實(shí)對(duì)于擬合處理過(guò)程其實(shí)也相當(dāng)隨意，同樣的擬合，有的時(shí)候換個(gè)背景類型結(jié)果差距就上去不少，雖然看擬合得還是蠻好的。也就是說(shuō)在擬合的方面可以比較“刻意”的去擬合結(jié)果達(dá)到相對(duì)較好的結(jié)果。 所以在此我想請(qǐng)教下關(guān)于xps元素含量的問(wèn)題，這個(gè)東西測(cè)量準(zhǔn)確度，可信度到底如何？ 對(duì)于發(fā)文章的話，這樣的結(jié)果可信么？ 我做了一個(gè)Si（+4）和Si（2p3）的薄膜深度剖析，在處理xps數(shù)據(jù)的時(shí)候想到這些問(wèn)題。 才接觸XPS，不是很懂，謝謝大家 |
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3樓2015-09-01 09:49:26
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