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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 分析 » 化學分析 » 關于XPS測量元素比例的問題
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kevin123581金蟲 (正式寫手)
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[交流]
關于XPS測量元素比例的問題
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關于xps測量元素種類應該是很準確的。但是對于元素含量比例的問題來講，結(jié)果的可信度如何呢？ 我查了些資料，上面表示xps至少存在20%的定量誤差，其實對于擬合處理過程其實也相當隨意，同樣的擬合，有的時候換個背景類型結(jié)果差距就上去不少，雖然看擬合得還是蠻好的。也就是說在擬合的方面可以比較“刻意”的去擬合結(jié)果達到相對較好的結(jié)果。 所以在此我想請教下關于xps元素含量的問題，這個東西測量準確度，可信度到底如何？ 對于發(fā)文章的話，這樣的結(jié)果可信么？ 我做了一個Si（+4）和Si（2p3）的薄膜深度剖析，在處理xps數(shù)據(jù)的時候想到這些問題。 才接觸XPS，不是很懂，謝謝大家 |
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kevin123581
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7樓2015-09-01 11:39:31
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kevin123581: 金幣+1, 謝謝 2015-09-01 13:35:03
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kevin123581: 金幣+1, 謝謝 2015-09-01 13:35:03
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3樓2015-09-01 09:49:26
kevin123581
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5樓2015-09-01 11:38:48
kevin123581
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6樓2015-09-01 11:39:21
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