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凈慧婍興鐵桿木蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
求助關(guān)于AlN薄膜 已有4人參與
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因?yàn)閷?shí)驗(yàn)需要，想制備一層AlN薄膜，要求 002 取向，用作壓電�；�100的拋光Si，還有110的拋光Si，都是N型摻雜。 采用磁控濺射制備：Al靶+N2和Ar氣體。試過(guò)直流濺射和射頻濺射，參數(shù)都調(diào)節(jié)了。就是做不成來(lái) 002 取向的AlN。 按理說(shuō)AlN應(yīng)該很好做。設(shè)備是沈科儀的，真空度差不多是 7.0*10-4。 求各位大神指教啊。小弟著急。 |
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5樓2015-09-15 22:55:45
wanghuaxing 
禁蟲(chóng) (小有名氣)
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
2樓2015-09-14 21:19:08
凈慧婍興
鐵桿木蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 9 (幼兒園)
- 金幣: 5535.9
- 散金: 15
- 紅花: 2
- 帖子: 83
- 在線: 26.8小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 2605864
- 注冊(cè): 2013-08-19
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬功能材料
3樓2015-09-15 07:56:36
wanghuaxing
禁蟲(chóng) (小有名氣)
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
4樓2015-09-15 22:02:34
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