 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 查看: 2883 | 回復(fù): 27 | |||
凈慧婍興鐵桿木蟲 (小有名氣)
|
[求助]
求助關(guān)于AlN薄膜 已有4人參與
|
||
|
因為實驗需要，想制備一層AlN薄膜，要求 002 取向，用作壓電。基片是100的拋光Si，還有110的拋光Si，都是N型摻雜。 采用磁控濺射制備：Al靶+N2和Ar氣體。試過直流濺射和射頻濺射，參數(shù)都調(diào)節(jié)了。就是做不成來 002 取向的AlN。 按理說AlN應(yīng)該很好做。設(shè)備是沈科儀的，真空度差不多是 7.0*10-4。 求各位大神指教啊。小弟著急。 |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 薄膜制備與特性 |
» 猜你喜歡
焦慮
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
298-一志愿中國農(nóng)業(yè)大學-求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
265求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
297求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
302求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
環(huán)境工程調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
268求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
311求調(diào)劑
已經(jīng)有11人回復(fù)
-
工科材料085601 279求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
301求調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- AlN薄膜納米力學性能文章投稿求助
已經(jīng)有0人回復(fù)
fuyadong01
禁蟲 (小有名氣)
|
本帖內(nèi)容被屏蔽 |
10樓2015-09-17 15:27:16
wanghuaxing 
禁蟲 (小有名氣)
|
本帖內(nèi)容被屏蔽 |
2樓2015-09-14 21:19:08
凈慧婍興
鐵桿木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 9 (幼兒園)
- 金幣: 5535.9
- 散金: 15
- 紅花: 2
- 帖子: 83
- 在線: 26.8小時
- 蟲號: 2605864
- 注冊: 2013-08-19
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬功能材料
3樓2015-09-15 07:56:36
wanghuaxing
禁蟲 (小有名氣)
|
本帖內(nèi)容被屏蔽 |
4樓2015-09-15 22:02:34
5樓2015-09-15 22:55:45
凈慧婍興
鐵桿木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 9 (幼兒園)
- 金幣: 5535.9
- 散金: 15
- 紅花: 2
- 帖子: 83
- 在線: 26.8小時
- 蟲號: 2605864
- 注冊: 2013-08-19
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬功能材料
6樓2015-09-16 15:53:40
凈慧婍興
鐵桿木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 9 (幼兒園)
- 金幣: 5535.9
- 散金: 15
- 紅花: 2
- 帖子: 83
- 在線: 26.8小時
- 蟲號: 2605864
- 注冊: 2013-08-19
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬功能材料
7樓2015-09-16 15:53:49
8樓2015-09-16 18:48:55
9樓2015-09-17 10:34:07
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 凈慧婍興 的主題更新
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 268求調(diào)劑 +6 | 簡單點0 2026-03-17 | 6/300 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 工科材料085601 279求調(diào)劑 +4 | 困于星晨 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 278求調(diào)劑 +5 | 煙火先于春 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 334求調(diào)劑 +3 | 志存高遠意在機?/a> 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 能源材料化學課題組招收碩士研究生8-10名 +3 | 脫穎而出 2026-03-16 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 299求調(diào)劑 +4 | △小透明* 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 341求調(diào)劑 +5 | 搗蛋豬豬 2026-03-11 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 301求調(diào)劑 +4 | A_JiXing 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 326求調(diào)劑 +5 | 上岸的小葡 2026-03-15 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 材料專碩326求調(diào)劑 +6 | 墨煜姒莘 2026-03-15 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 【0856】化學工程（085602）313 分，本科學科評估A類院�；瘜W工程與工藝，誠求調(diào)劑 +7 | 小劉快快上岸 2026-03-11 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 275求調(diào)劑 +4 | 太陽花天天開心 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +3 | 淇ya_~ 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[基金申請] 國自科面上基金字體 +6 | iwuli 2026-03-12 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 070300化學學碩求調(diào)劑 +6 | 太想進步了0608 2026-03-16 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 085600調(diào)劑 +5 | 漾漾123sun 2026-03-12 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 中科大材料與化工319求調(diào)劑 +3 | 孟鑫材料 2026-03-14 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 中科大材料專碩319求調(diào)劑 +3 | 孟鑫材料 2026-03-13 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 070303一志愿西北大學學碩310找調(diào)劑 +3 | d如愿上岸 2026-03-13 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 081200-11408-276學碩求調(diào)劑 +3 | 崔wj 2026-03-12 | 4/200 |
|