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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助關于AlN薄膜
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凈慧婍興鐵桿木蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助關于AlN薄膜 已有4人參與
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因為實驗需要，想制備一層AlN薄膜，要求 002 取向，用作壓電�；�100的拋光Si，還有110的拋光Si，都是N型摻雜。 采用磁控濺射制備：Al靶+N2和Ar氣體。試過直流濺射和射頻濺射，參數都調節(jié)了。就是做不成來 002 取向的AlN。 按理說AlN應該很好做。設備是沈科儀的，真空度差不多是 7.0*10-4。 求各位大神指教啊。小弟著急。 |
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7樓2015-09-16 15:53:49
wanghuaxing 
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2樓2015-09-14 21:19:08
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3樓2015-09-15 07:56:36
wanghuaxing
禁蟲 (小有名氣)
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4樓2015-09-15 22:02:34
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