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missyou739銅蟲 (小有名氣)
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怎么用SRIM圖做出注入濃度對(duì)注入深度的關(guān)系圖
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| 這兩天用SRIM模擬軟件做了一下離子注入能量和注入劑量對(duì)注入層深度關(guān)系的研究。發(fā)現(xiàn)注入能量對(duì)注入深度的影響挺大，但是注入劑量對(duì)注入深度的影響極小，不同劑量的離子在靶材中的分布幾乎沒啥區(qū)別，所以很困惑。具體是這么做的，在設(shè)置總的注入離子量的時(shí)候，小劑量的輸入了2000，另一個(gè)注入量是這個(gè)的3.5倍，因此輸入了7000。這樣做不知道對(duì)不對(duì)？望高手答疑。謝謝。 |
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蒙特卡羅用的是統(tǒng)計(jì)性算法，計(jì)算最后的結(jié)果是一個(gè)離子的行為，只不過參與計(jì)算的離子越多，統(tǒng)計(jì)精度越好。 從SRIM的角度來講，由于算法的因素，只要離子能量差不多，五千個(gè)和七千個(gè)計(jì)算結(jié)果差別不大。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2015-10-01 16:55:03
3樓2016-04-25 11:48:35
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6樓2018-07-04 13:02:57
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核心的問題是SRIM的計(jì)算結(jié)果是單個(gè)離子的行為，所以計(jì)算結(jié)果要乘一個(gè)表面濃度，才會(huì)轉(zhuǎn)化成空間濃度。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
7樓2018-07-04 18:00:24
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10樓2020-04-29 16:44:49
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